ALD生长2D材料及逐层调控技术

2015中国(国际)功能材料科技与产业高层论坛——解决电子器件级2D材料生长世界性难题,可进行量子电子器件制备和输运特性等重大科学问题研究。


关键词: ALD 2D材料 逐层调控技术 2015中国(国际)功能材料科技与产业高层论坛

主讲人:研究员 夏洋 机构:中国科学院微电子研究所

时长:0:18:46 年代:2015年