铁电场效应晶体管电离辐射效应及加固技术研究

2015中国(国际)功能材料科技与产业高层论坛——采用溶胶-凝胶法结合旋涂工艺在已经注入了源漏区的HfTaO/Si(100)基底上制备了P型MFIS(金属-铁电-绝缘层-硅)FeFET(铁电场效应晶体管)。采用铁电分析仪和半导体器件分析仪对制备的MFIS FeFET进行了电学性能测试,测试结果表明制备的MFIS FeFET具有良好的转移特性、输出特性、保持特性和抗疲劳特性。


关键词: 铁电场效应晶体管 保持效能 辐射

主讲人:教授 唐明华 机构:湘潭大学

时长:0:19:03 年代:2015年