Large Response Current of Vacuum Pressure Sensor Based on Vertically-Aligned ZnO Nanowires Array（1）
2014 International Conference on Functional Materials（ICFM 2014）——Vertically-aligned ZnO nanowires(VA-ZnO-NWs) array was prepared through chemical vapor deposition to fabricate the vacuum pressure sensor,and its sensitive characteristics were measured by using semiconductor parameter tester.
关键词： 真空压力传感器 电流响应 氧化锌纳米线阵列 2014 International Conference on Functional Materials（ICFM 2014）
主讲人：Ding Wang 机构：University of Shanghai for Science and Technology
时长：0:13:35 年代：2014年
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