等离子增强原子层沉积氮化镓的研究（2）
2016中国国际功能材料大会(CIFM 2016)——等离子体增强原子层沉积(PEALD)是一种低温制备高质量超薄薄膜的有效手段，近年来正受到工业界和学术界广泛的关注。
关键词： 等离子体增强原子层沉积 薄膜 同轴异质结 2016中国国际功能材料大会(CIFM 2016)
主讲人：副研究员 汤文辉 机构：中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心
时长：0:10:10 年代：2016年
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