等离子增强原子层沉积氮化镓的研究(2)

2016中国国际功能材料大会(CIFM 2016)——等离子体增强原子层沉积(PEALD)是一种低温制备高质量超薄薄膜的有效手段,近年来正受到工业界和学术界广泛的关注。


关键词: 等离子体增强原子层沉积 薄膜 同轴异质结

主讲人:副研究员 汤文辉 机构:中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心

时长:0:10:10 年代:2016年