等离子增强原子层沉积氮化镓的研究(1)
2016中国国际功能材料大会(CIFM 2016)——等离子体增强原子层沉积(PEALD)是一种低温制备高质量超薄薄膜的有效手段,近年来正受到工业界和学术界广泛的关注。
关键词: 等离子体增强原子层沉积 薄膜 同轴异质结 2016中国国际功能材料大会(CIFM 2016)
主讲人:副研究员 汤文辉 机构:中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心
时长:0:11:25 年代:2016年
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