第十二届国际真空冶金与表面工程学术会议（ICVMSE 2015）——氧化铝具有较高的机械强度与硬度，被广泛应用于机械、光学、材料、化工、微电子、医学等领域，利用PVD技术可实现在较低温度下氧化铝薄膜的制备。
关键词： 基体偏压 反应磁控溅射 氧化铝薄膜 第十二届国际真空冶金与表面工程学术会议（ICVMSE 2015）
主讲人：硕士 耿东森 机构：广东工业大学机电工程学院
时长：0:16:46 年代：2015年
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