第十二届国际真空冶金与表面工程学术会议（ICVMSE 2015）——实验采用等离子体辅助二元复合源设备，制备不用厚度的TiAIN涂层。
关键词： 硬质膜 涂层厚度 涂层结构性能 第十二届国际真空冶金与表面工程学术会议（ICVMSE 2015）
主讲人：讲师 苏永要 机构：重庆文理学院
时长：0:16:29 年代：2015年
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