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硬质膜制备及其性能研究

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第十二届国际真空冶金与表面工程学术会议（ICVMSE 2015）——实验采用等离子体辅助二元复合源设备，制备不用厚度的TiAIN涂层。

关键词： 硬质膜涂层厚度涂层结构性能第十二届国际真空冶金与表面工程学术会议（ICVMSE 2015）

主讲人：讲师苏永要 机构：重庆文理学院

时长：0:16:29 年代：2015年

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