第十二届国际真空冶金与表面工程学术会议(ICVMSE 2015)——真空室内放置辅助阳极,施加一个正电位,等离子体中的电子将向电势更高的阳极集结,在集结过程中路径被延长,会进一步电离中性粒子,导致系统离等离子体密度提高。
关键词: 电场增强 阴极弧放电特性 薄膜组织性能 第十二届国际真空冶金与表面工程学术会议(ICVMSE 2015)
主讲人:硕士 孔营 机构:哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室
时长:0:15:59 年代:2015年