沉积参数对电弧离子镀弧斑移动及制备的Al-Ti-N涂层微结构和机械性能的影响
第十二届国际真空冶金与表面工程学术会议(ICVMSE 2015)——因为Al-Ti-N涂层在硬度、抗磨损和氧化方面的优异表现性能,所以在各种工业应用中被大规模使用。本文主要研究沉积参数对于通过电弧离子镀沉积的Al-Ti-N涂层在电弧弧斑运动、涂层微观结构和机械性能方面的影响。
关键词: 沉积参数
电弧离子镀弧斑移动
机械性能
第十二届国际真空冶金与表面工程学术会议(ICVMSE
2015)
主讲人:硕士 张权
机构:广东工业大学
时长:0:16:56
年代:2015年