靶基距离及高功率等离子体清洗对铝合金MAO表面Cr-DLC薄膜摩擦学性能的影响
第十二届国际真空冶金与表面工程学术会议(ICVMSE 2015)——MAO涂层表面制备了DLC薄膜,有效降低了微孔和摩擦系数。靶基距离越大,膜层结合力越高,膜层摩擦学特性越好,表面形貌特征越好。高功率清洁有助提高膜基结合力、摩擦学特性以及膜层的表面形貌。
关键词: 靶基距离
高功率等离子体清洗
铝合金
摩擦学性能
第十二届国际真空冶金与表面工程学术会议(ICVMSE
2015)
主讲人:硕士 田钦文
机构:佳木斯大学
时长:0:16:09
年代:2015年