万方视频_Effects of PEM Controlled Reaction Atmosphere on Composition and Structure of Carbon Doped Ti-O Films

Effects of PEM Controlled Reaction Atmosphere on Composition and Structure of Carbon Doped Ti-O Films

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2016中国国际功能材料大会(CIFM 2016)——Carbon-doped Ti-O films were prepared by Unipolar reactive magnetron sputtering using CO2 and O2 controlled by PEM.

关键词： film;silicon wafer;reaction magnetron sputtering 2016中国国际功能材料大会(CIFM 2016)

主讲人：Jianlu Xue 机构：Hainan University, China

时长：0:10:49 年代：2016年

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