Effects of PEM Controlled Reaction Atmosphere on Composition and Structure of Carbon Doped Ti-O Films
2016中国国际功能材料大会(CIFM 2016)——Carbon-doped Ti-O films were prepared by Unipolar reactive magnetron sputtering using CO2 and O2 controlled by PEM.
关键词: film;silicon wafer;reaction magnetron sputtering 2016中国国际功能材料大会(CIFM 2016)
主讲人:Jianlu Xue 机构:Hainan University, China
时长:0:10:49 年代:2016年
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