万方视频_离化增强的脉冲阴极弧沉积TiCN薄膜结构和性能研究（1）

离化增强的脉冲阴极弧沉积TiCN薄膜结构和性能研究（1）

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第十二届国际真空冶金与表面工程学术会议（ICVMSE 2015）——脉冲阴极弧增强反应气体离化，提高等离子体密度，增加基体电流。脉冲阴极弧改善TiCN薄膜表面质量，增加膜层致密性。脉冲阴极弧提高膜基结合强度、薄膜硬度与耐磨性能。

关键词： 离化增强脉冲阴极弧薄膜性能第十二届国际真空冶金与表面工程学术会议（ICVMSE 2015）

主讲人：硕士马英鹤 机构：哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室

时长：0:10:14 年代：2015年

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