DSMC算法下的涡轮分子泵模拟计算(1)

第十二届国际真空冶金与表面工程学术会议(ICVMSE 2015)——涡轮分子泵作为获得清洁高真空、超高真空环境的主要设备,在半导体、粒子加速器、薄膜制备、小型环境模拟等装置中得到应用。涡轮分子泵主要工作在分值流态下,其抽气性能由涡轮叶片几何参数、转子线速度和涡轮串联级数等决定。


关键词: DSMC算法 涡轮分子泵 模拟计算 第十二届国际真空冶金与表面工程学术会议(ICVMSE 2015)

主讲人:李博 机构:东北大学

时长:0:16:10 年代:2015年