第十二届国际真空冶金与表面工程学术会议（ICVMSE 2015）——涡轮分子泵作为获得清洁高真空、超高真空环境的主要设备，在半导体、粒子加速器、薄膜制备、小型环境模拟等装置中得到应用。涡轮分子泵主要工作在分值流态下，其抽气性能由涡轮叶片几何参数、转子线速度和涡轮串联级数等决定。
关键词： DSMC算法 涡轮分子泵 模拟计算 第十二届国际真空冶金与表面工程学术会议（ICVMSE 2015）
主讲人：李博 机构：东北大学
时长：0:16:10 年代：2015年
京公网安备11010802020237号 |