热氧化生长镓掺杂氧化锌薄膜及其发光性能(2)

第六届海内外中华青年材料科学技术研讨会(2015)——氧化锌是重要的宽禁带半导体光电材料,掺杂方法和生长条件会影响其微观结构和光学性能。我们采用热氧化方法生长了镓掺杂氧化锌薄膜,表征了薄膜的形貌、镓掺杂及缺陷状态等微观结构和光学性能,探讨了薄膜的生长过程及其发光性能与生长条件的依存关系,研究了薄膜的紫外发光特性及载流子复合过程。本报告将介绍相关研究工作进展。


关键词: 氧化锌 掺杂方法 光学性能 热氧化方法 镓掺杂氧化锌薄膜

主讲人:副教授 杨卿 机构:西安理工大学材料学院

时长:0:12:25 年代:2015年