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Morphological Evolution of Self-assembled SiGe Islands Based on a Mixed-phase Pre-SiGe island Layer Grown by Ion Beam Sputtering Deposition

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Morphological Evolution of Self-assembled SiGe Islands Based on a Mixed-phase Pre-SiGe island Layer Grown by Ion Beam Sputtering Deposition

2014 International Conference on Functional Materials（ICFM 2014）——We investigated the evolution of SiGe islands grown on a partial strain-relief pre-SiGe island layer by using ion beam sputtering deposition(IBSD) technique.The morphology and structure of samples were probed by using atomic force microscope(AFM).

关键词： 硅锗纳米线等离子溅射镀膜方法原子力显微镜形态演变 2014 International Conference on Functional Materials（ICFM 2014）

主讲人：Chong Wang 机构：Yunnan University

时长：0:19:44 年代：2014年

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