万方视频_适变电场原子层外延技术研究

适变电场原子层外延技术研究

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2014中国功能材料科技与产业高层论坛——技术创新方面，适变电场调控的原子层沉积，实现低维材料生长于原位精确调控。仪器设备方面，2D半导体/绝缘体/导体制备一体化，材料生长/器件制备/原位分析一体化。

关键词： 适变电场调控原子层沉积低维材料仪器设备 2014中国功能材料科技与产业高层论坛

主讲人：研究员夏洋 机构：中国科学院微电子所

时长：0:22:31 年代：2014年

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