超硬纳米复合薄膜材料及其增韧机理的研究
2014中国功能材料科技与产业高层论坛——本文详细研究了磁控溅射制备Ti-Si-N纳米超硬复合膜中，Si含量与所制薄膜材料的显微结构、力学性能之间的关系。指出了纳米复合薄膜材料Ti-Si-N的强化机理。在此基础上，通过分别掺杂金属Ni,A1等元素，研究了掺杂元素对Ti-Si-N薄膜材料显微结构、力学性能的影响。重点探讨了纳米复合薄膜的增韧机理。
关键词： 超硬纳米复合薄膜材料 增韧机理 掺杂元素 2014中国功能材料科技与产业高层论坛
主讲人：研究员 孙德恩 机构：重庆大学材料科学与工程学院
时长：0:20:29 年代：2014年
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