硅基高迁移率沟道材料及器件研究

第八届中国功能材料及其应用学术会议——本报告由清华大学教授许军所作,报告中介绍了高迁移率SiGe及应变硅材料的研究背景,硅基高迁移率沟道材料的研究,高迁移率SiGe及应变硅器件的研究。


关键词: 高迁移率 SiGe 硅材料 沟道材料 应变硅器件 第八届中国功能材料及其应用学术会议

主讲人:许军教授 机构:清华大学

时长:0:17:42 年代:2013年