锗及其氧化物之间反应的动力学研究

第八届中国功能材料及其应用学术会议——本报告由中科院微电子研究所副研究员王盛凯所作,报告中介绍了锗及其氧化物之间反应的动力学研究。


关键词: 锗氧化物 动力学 材料学 功能材料 第八届中国功能材料及其应用学术会议

主讲人:副研究员 王盛凯 机构:中科院微电子研究所

时长:0:20:26 年代:2013年