Fabrication of functional thin films by high power impulse magnetron sputtering(HiPIMS)technique
2018年海峡两岸先进功能材料高峰论坛——The deposition rate,microstructure and mechanical properties of transition metal nitride films can be tailored by adjusting the target poisoning tario by PEM system.
关键词： functional thin films;impulse magnetron;sputtering 2018年海峡两岸先进功能材料高峰论坛
主讲人：教授 李志伟 机构：明志科技大学
时长：0:18:28 年代：2018年
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