Growth of Thin Films Through Two Laser Ablation in the Pulsed Laser Deposition System
2016中国国际功能材料大会(CIFM 2016)——Pulsed laser deposition is a physical vapor deposition technique where a high-power pulsed laser beam is focused inside a vacuum chamber to strike a target of the material that is to be deposited.
关键词： pulsed laser deposition;thin film;laser beam 2016中国国际功能材料大会(CIFM 2016)
主讲人：A.P. Weier Lu 机构：Microelectronics equipment research centre Institute of Microelectronics, CAS
时长：0:16:10 年代：2016年
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