万方视频_N2对于300mm晶圆级电镀TSV的影响（1）

N2对于300mm晶圆级电镀TSV的影响（1）

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2015年第二届海峡两岸电子电镀及表面处理学术交流会——利用田口质量工程的方法找出N2的最低消耗量与最佳条件，并发现最佳条件的预测与实验相符。

关键词： 电镀槽氮气最低消耗量 2015年第二届海峡两岸电子电镀及表面处理学术交流会

主讲人：博士张佑祥 机构：台湾“清华大学”，中国

时长：0:14:08 年代：2015年

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