第十二届国际真空冶金与表面工程学术会议（ICVMSE 2015）——脉冲阴极弧增强反应气体离化，提高等离子体密度，增加基体电流。脉冲阴极弧改善TiCN薄膜表面质量，增加膜层致密性。脉冲阴极弧提高膜基结合强度、薄膜硬度与耐磨性能。
关键词： 离化增强 脉冲阴极弧 薄膜性能 第十二届国际真空冶金与表面工程学术会议（ICVMSE 2015）
主讲人：硕士 马英鹤 机构：哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室
时长：0:10:14 年代：2015年
京公网安备11010802020237号 |