干泵的可靠性技术及其应用(1)

第十二届国际真空冶金与表面工程学术会议(ICVMSE 2015)——提高干泵的可靠性是一门理论与实践相结合的综合技术,不仅仅依赖于某个技术环节,更需要国内外整个干泵产业链的上下游企业共同关注与提高。


关键词: 国产干泵 制造一致性 关键零部件 应用工艺 第十二届国际真空冶金与表面工程学术会议(ICVMSE 2015)

主讲人:研究员 王光玉 机构:真空技术装备国家工程实验室、中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

时长:0:14:10 年代:2015年